半导体研究所(图)-EBL微纳加工外协-甘肃EBL微纳加工

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mems传感器设计需要考虑什么

mems传感器也称作是微机电系统，它涉及多门学科，综合性比较强，应用前景广阔，是当今---瞩目的领域之一。

mems设计是长期技术经验的结晶，有诸多需要考量的因素。传感器一般所测得的物理量都比较小，如何将有效信息取出是它首先要解决的问题；其次，传感器的电路一定要简单精炼，复杂的电路比较容易产生信噪；功耗问题以及元器件的选用和电源回路都是mems传感器在设计过程中需要考量的方面。